活塞式冷水机组活塞式冷水机组由活塞式制冷压缩机、风冷式或水冷式冷凝器、热力膨胀阀和蒸发器等组成，并配有自动或手动能量调节和自动安全保护装置，食品洁净室，常用的水冷活塞式冷水机组冷凝器进出水温分别设置为32℃、37℃，工业洁净室，蒸发器出口冷冻水温度设置为7度，冷量范围一般为35～580kW。螺杆式冷水机组螺杆式冷水机组是由螺杆式制冷压缩机、冷凝器、蒸发器、热力膨胀阀、油分离器、自控元件和仪表等组成的一个完整的制冷系统。

为了满足集成电路日益精细的加工要求，各国在微污染控制技术领域内投入了可观的人力、物力进行系统研究，取得了大量科技成果，涌现了一批高科技产品，药厂洁净室，诸如超过滤器(过滤效率达99.9999%)的问世及ISO3级(0.1μm)洁净室的建立;超纯水及超纯气体的应用;隧道式洁净室及微环境系统洁净室的出现和使用，大大降低了污染。在防微振领域，从厂房结构形式、动力设备布置及隔振措施到精密设备防微振措施等方面独特的建树，为集成电路生产提供了一个优良的环境。

为了避免电压瞬变、瞬时停电、电压不足等现象，合肥洁净室，可以根据需求选用不间断电源（UPS）。 进行精密仪器室设计的同时，也要做好相关配套化学处理室的设计工作，因为这在保护仪器和加强管理上是非常必要的

。乱流洁净室送风量：乱流洁净室送风量的理论计算（其中nv—洁净室换气次数，次/h；V—洁净室净体积，m3；G—单位容积发尘量，粒/（m3.min）；N—乱流洁净室稳定含尘浓度，粒/L；S—回风量与送风量之比；ηh—回风通路上过滤器的总效率；ηx—新风通路上过滤器的总效率）

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